美国Microchem Su-8 2000系列

产品特性

基于环氧型树脂的负性光刻胶，在近紫外光范围内吸收率低，具有较好的曝光均匀性

高深宽比：5:1，侧壁垂直性好，光学透明，耐高温，抗腐蚀

光源：Near UV (350-400nm) 推荐i-Line，也可用于E-beam, X-ray。

厚度范围：0.5-650µm，型号丰富

可根据不同的厚度要求选择型号