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NRE800

 

产品特性:

基于PHS的负性化学放大电子束胶,高宽比大AR=5,耐刻蚀性高。

光源E-beam

胶厚200-350

 
     
   
  旋涂曲线  
     
   
  JOEL,PR110nm线宽极限30nm  
     
   
  NBL,PR300nm线宽达到65nm  
     
 

应用:

取代SAL601的电子束负胶。耐刻蚀性能好,高宽比>5。

 
     
 

 

 
 
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